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Advanced Materials for Research
名称
硅片 Silicon Single Crystal
分子式
Si
纯度
99.999%
厚度
50-3000µm, 常用0.38mm, 0.525mm
常规尺寸
2inch，4inch, 6inch, 8inch可定制，可切割
常规晶向
(100), (110) , (111)
晶向精度
<2°, <1°, <0.5° or <0.1°
抛光
as cut, one or two sides polished
生长方法
Czochralski, Floating zone
电阻率
低阻: 0.001-0.005; 0.01-0.02 ohm-cm
中阻: 1-5; 1-10;10-20 ohm-cm
高阻: 10000-25000 ohm-cm
掺杂
P/B，N/（Phos, As, Sb)，Intrinsic
表面氧化
可定制，氧化层SiO2厚度20nm-1000nm
晶体结构
diamond
晶格常数Å
a=5.4307
熔点(℃)
1409.85
密度(g/cm3)
2.33
热导率(W/mK)
148
热膨胀系数(/K)
4.2 x 10-6
颜色及外观
银灰色
CAS
7440-21-3
