服务热线：18616342338
邮箱：info@beingmat.com
BeingMat
Advanced Materials for Research
钌靶
纯度：99.95%
形状：方靶，圆靶，异形定制
用途：用于在基板上生产纯钌薄膜，可用于半导体芯片。
钌技术参数
材料名称 Material Type
Ruthenium
符号 Symbol
Ru
原子量 Atomic Weight
101.07
原子序数 Atomic Number
44
颜色外观 Color/Appearance
银白色
热导率 Thermal Conductivity
120 W/m.K
熔点 Melting Point (°C)
2,310
热膨胀系数 Coefficient of Thermal Expansion
6.4 x 10-6/K
理论密度 Theoretical Density (g/cc)
12.3
溅射电源 Sputter
直流
绑定类型 Type of Bond
铟, 导电胶
